当社独自のEFG法によるサファイア単結晶育成（製造）することにより、くり抜きやスライスといった工程が不要であるため効率的に角形状、丸形状の製造が可能です。
サファイアは高耐熱性、高耐薬品性であるため、焼成用のセッターとしても使用されています。従来のアルミナ/セラミックス製セッターでの不純物、脱ガスといった雰囲気汚染問題、反りや経年劣化といった形状変化問題に関して、一切サファイア単結晶では発生しません。
製品の品質向上への貢献と、再研磨やクリーニング対応によるロングライフ・コスト対応に貢献します。
| 項目 | 仕様 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 直径 | □25mm | □50mm | □75mm | □100mm | □125mm | □150mm |
| 材質 | 人造サファイア（ Al2O3 99.99%以上） | |||||
| 厚さ | 1,5,10mm | |||||
| 結晶方位 | c 面(0001) | |||||
| 表面仕上げ | Polish (Ra<0.3nm) | |||||
| 裏面仕上げ | Polish (Ra<0.3nm) | |||||
| 備考 | 各種カスタマイズ可能 ： 直径変更、厚さ変更、結晶方位変更、片面研磨など オプション ： 再研磨対応 |
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