サファイア支持基板

ワークを安定して扱うためのキャリアウェハ
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サファイア支持基板は、Si、LT、LN、SiC、AlN、GaN、GaAs、InP、水晶等の単結晶基板、石英ガラス、セラミックス等のキャリアウエハとして半導体装置内、装置間の搬送に使用します。
サファイアは、高温にも強く、高硬度です。薄くても、硬度が保たれているため、高温で、小型半導体装置内でも、繰り返し使用が可能です。
当社のサファイア支持基板は、表面が平坦なため、ワークの着脱が容易です。また穴あけ加工し、ワークの着脱をより簡易にしたり、ワークを吸着して搬送することも出来ます。さらに、サファイア支持基板は不純物がないため、直接ワークに触れてもコンタミネーション(汚染)しません。

キャリアウエハとは:半導体装置内での基板搬送用治具として使用されます。

キャリアウェハに適している特長

  • コンタミネーション(汚染)しない
  • 平滑性が高く、滑りが良い
  • 高強度で長持ちする
  • 高温にも耐える
  • 高絶縁性
  • 穴あけ等加工ができ吸着しての搬送も可能
  • 耐腐食性
  • 再利用・再研磨が可能 (スペックによりますので、お問合せください)
面方位 r面、c面
外径 200±0.1mm
厚み公差 ±0.003mm
GBIR -
TTV ≤3.0µm
Warp Warp≤50µm
その他仕様 レーザーマーキング有り
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