高平坦加工

当社はLED用サファイア基板の量産実績や、サファイアに対する微細加工・常温接合技術を保有しております。
特に常温接合は、各種素材を常温で接合するために素材を高度な平坦性をもった研磨をする必要があるため、高平坦化研磨技術を高めています。
この平坦性を表す面精度は、図のように基板の最高点と最低点の高低差を表します。

より高低差の少ない透明素材は、光をより均一に透過させる・平坦性を保ったまま異素材を貼りあわせられるなどの利点が得られます。
その透明素材をサファイアに置き換えることで、高温下での使用・高い熱伝導性・キズ防止・高耐久性など、サファイアの素材としての特長を活かすことができます。

加えて、高平坦サファイアベースに異種素材を貼付け、その貼り合わせた異種素材を高平坦薄厚化加工する場合、サファイアは異種素材の支持基板・研磨用高平坦ベースとして高い性能を発揮することが出来ます。
また、サファイアはセラミックとは違い透明素材のため、貼り付けた異種素材との貼付け面の視認性が良く、可視化実験用途にもご利用いただけます。

その他、サファイア以外にも、様々な素材に向けてお客様のご要望にお応えすべく、高精度研磨を行っておりますので、お気軽にご相談ください。

素材 サファイア・Tiサファイアほか各種素材検討します。
研磨方式 片面研磨・両面研磨など
丸・角基板への高平坦研磨 λ~λ/20など 素材・サイズ・形状に応じて検討します。
洗浄 光学グレード・エピグレードなど
検査・評価 Zygo干渉計ほか
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