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DRM論文集の表紙を飾りました

   最終更新日:    公開日: 2021/05

Diamond and Related Materials(DRM)の表紙モデルを飾ったデバイス特性評価結果は、MPCVD法によって、サファイア基板上にヘテロエピタキシャル成長した人工ダイヤモンドKENZAN Diamond®)基板上に、韓国のKorea Polytechnic University(KPU)と共同研究で、ショットキーバリアダイオード(SBD)を作製し、その実用化の可能性を示したものです。

パワーデバイスアナライザによってデバイス特性を測定した結果、理想係数1.4のとき、最大絶縁破壊電界1.1MV / cmの値が得られました。

ダイヤモンドショットキーバリアダイオード(SBD)を、マイクロ波プラズマ化学気相蒸着(MPCVD)法を用いて、サファイア基板を用いた自立型ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板KENZAN Diamond® )上に作製しました。ホモエピタキシャルダイヤモンド層の成長速度は、その表面形態と結晶品質に影響を与え、それがヘテロエピタキシャルSBDの電気的特性に大きく影響を与えることがわかりました。パワーデバイスアナライザを用いて、理想係数1.4と最大絶縁破壊電界1.1MV / cmが測定されました。

ジャーナル DRM(Diamond and Related Materials)について

DRM(Diamond and Related Materials) はダイヤモンド全般に関する研究成果(単結晶ダイヤモンド、多結晶ダイヤモンド、ナノダイヤモンドなど)を掲載する国際ジャーナルです。ダイヤモンド業界では人気のあるジャーナルです。

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