GaN基板や、AlN基板、GaO基板は高額であり、サイズの大きな基板1枚を実験で使うのは難しいと言われています。
このような場合に、高額な半導体用基板を複数枚にカットする（小片化）ことで、コストを抑えて、小さなスケールでの実験を行うことができます。
当社ではサファイア基板上へ、小片化した基板を配置できる実験用基板トレーを販売しております。
特徴
「現状の設備では、4インチ基板用の設備なので4インチ基板しか入らない‥‥」
といった場合でも、4インチのサファイア基板に希望サイズのポケットを製作することが可能です。
切断加工にも対応しておりますので、どんな基板でも任意のサイズで実験することができます。
対応サファイア基板サイズ：2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ、8インチ
※12インチ要相談
用途
高額な基板を小片化し、実験用基板トレーへ数枚並べてエピタキシャル成長実験等にお使いいただけます。
実験回数を増やせることで、実験データを多く取り、最適なプロセス条件出しが可能です。
