OCT内周面測定器

現在、航空宇宙機器の燃料噴射ノズル、医療機器の中空部品、分析装置の精密ノズル、流体軸受など、精密細孔加工部品が多用されており、その内周面評価の重要性が急増しています。
比較的大きな内径の部品については、それぞれ内径測定機、真円度測定機、粗さ・形状測定機にて計測して評価することも可能ですが、細孔につきましては、部品を半分に割らないと計測できませんでした。

当社では、近赤外光の光干渉を利用し、「今まで見えなかった細孔内周面のビジュアル化」を可能としたOCT 式内周面測定機 NMH-01 を開発致しました。

当社の世界最小Φ0.9mm モーター、当社特許の透光性基準パイプ方式を適用した特殊プローブと、同じく当社特許の傾斜補正演算アルゴリズム搭載により、①測定最小内径Φ1.1mm ②内径/真円度/形状の同時測定 ③繰り返し測定精度σ=0.2μm ④セッティングフリー測定を実現した、新しいコンセプトの測定機です。まさに、極小径モーター技術と、光通信技術を持つ当社ならではの製品と言えます。

細孔の内周面観察・測定が可能であることはもちろんのこと、今まで、専用測定機を使って別々に測定しなくてはいけなかった内径、真円度、粗さ・形状を同時に計測できることから、約30分/ワーク⇒約30秒/ワークと大幅に計測時間を短縮でき、お客様の測定スループット改善に大きく貢献致します。

特長

  • ・最小内径Φ1.1mm より、細孔の内径・真円度が測定可能
  • ・繰返し測定精度0.2μm の高精度計測
  • ・セッティングフリー測定: 独自の演算処理によりワークの傾斜を自動補正
  • ・測定時間: 従来測定機30 分 → 本測定機30 秒(内径/真円度/形状同時測定)
  • ・持ち運び可能:重さ3kg 100V 電源で使用可

プローブ概要

  • ・測定最小Φ1.1mm~世界最小Φ0.9mmモーター内蔵
  • ・繰返し測定精度:0.2μm透光性基準パイプにより光学系のズレ、ゆらぎをキャンセル
  • ・セッティングフリー測定ワーク傾斜/偏心を演算処理で自動補正

測定事例

※表示値は0.1μm

リングゲージ

ゲージ径:Φ3.900 ゲージ径:Φ3.900
ゲージ径:Φ3.900

NMH-01

3D画像
3D画像 3D画像
実測結果:Φ3.89977
(中央位置)
2D内径データ
2D内径データ 2D内径データ
Z軸方向各点における内径値

動圧軸受

内径:Φ1.60 内径:Φ1.60
内径:Φ1.60

NMH-01

3D画像
3D画像 3D画像
実測結果:Φ1.60122
2D内径データ
2D内径データ 2D内径データ
同圧溝の自動検出

リングゲージ

NMH-01

内周面凹傷検出例
内周面凹傷検出例 内周面凹傷検出例
内周面縦傷検出例
内周面縦傷検出例 内周面縦傷検出例

関連技術文献一覧

  • 1) 工業用OCT,淺田,光技術動向調査報告書(一般財団法人光産業技術振興協会発行),FY2016-002-1第4.4.1章(2017年3月),PP237-242
  • 2) 直径1.5mmで実現する内視鏡型デジタル顕微鏡(微細OCTプローブでナノメートル精度のデジタル化技術),古川他,Synthesiology,第11巻第1号(2018),pp.23-32.
  • 3) 3D内視鏡光プローブ式精密測定機の開発(石英パイプ基準式内周面測定精度の評価),淺田他,日本機械学会論文集,Vol.84,No.857(2018),全12ページ
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