微細加工用語解説

レーザー

Light Amplification of Stimulated Emission of Radiationの略。誘導放出による光の増幅の意味です。

パルス幅

パルスレーザーにおいて、レーザーが出ている時間間隔を指します。

単位(μ, n, p, f)

μ(マイクロ)は10-6=1/106=1/1000000, n(ナノ)は10-9, p(ピコ)は10-12, f(フェムト)は10-15です。

光のエネルギー

光のエネルギーE[J]は、波長λ [m]、光速c=3.0x108[m/s]、プランク定数をh=6.626x10-34[Js]とすると、
  E=hc/λ
で表されます。すなわちエネルギーは波長に反比例するため、紫外線は赤外線や可視光よりも高いエネルギーを持ちます。

アスペクト比

穴の形状において、(穴の長さ)÷(穴径)を指します。穴の長さが穴径の何倍かを意味します。つまり、アスペクト比が大きい穴は、穴径に対して長い穴と言う事ができます。

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